單晶硅烘箱概念
主要用于單晶硅與多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工藝處理。 特點(diǎn)
1,本系列主要用于單晶硅與多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工藝處理。
2,本系列烘箱采用數(shù)顯溫度調(diào)節(jié)儀進(jìn)行溫度控制、控溫靈敏、操作簡便、性能可靠,數(shù)字直接顯 示出工作溫度,直觀易讀。
3,工作室溫度可在室溫至250℃之間任意恒溫;能自動切斷電源,保護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品。
4,該設(shè)備具有超溫報警,恒溫計時功能。
箱體結(jié)構(gòu): 設(shè)計*,箱體采用數(shù)控機(jī)床加工成型,箱門采用雙開式,操作容易。內(nèi)膽采用SUS304不銹鋼板,外殼為A3板噴塑處理,更顯光潔、美觀。電路系統(tǒng)側(cè)采用門式開啟,方便維護(hù)和檢修。箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保烘箱的密閉性。
單晶硅烘箱日常保養(yǎng):
1. 打掃表面及內(nèi)腔灰塵,保持機(jī)器干凈、衛(wèi)生。
2. 檢查電流表電流跟正常時是否一樣,如有異樣,通知維修工檢修。
技術(shù)參數(shù):
1、工作室材質(zhì):鏡面不銹鋼板;
2、網(wǎng)板:2層不銹鋼網(wǎng)板;
3、定時范圍:1-9999min 4、溫度范圍:RT 10~400℃;
5、溫度分辨率:0.1℃;
6、溫度波動度:≤±0.5℃。
應(yīng)用領(lǐng)域:
1、高科技電子業(yè)
2、化驗(yàn)室等單位
3、研究機(jī)構(gòu)
4、精密品管部門
■ 控制執(zhí)行系統(tǒng): 溫度控制器采用觸摸按鍵、數(shù)顯LED顯示、PID智能控制儀表; Pt100鉑電阻測溫傳感器;